液中研磨
將超精密拋光的研具工作面和工件浸泡在含磨粒的研磨劑中進(jìn)行研磨。在充足的加工液中，借助水波效果，利用浮游的微細(xì)磨粒進(jìn)行研磨加工。加工液對(duì)磨粒作用部分所產(chǎn)生的熱有極好的冷卻效果，對(duì)研磨時(shí)的微小沖擊也有緩沖效果，可以得到高質(zhì)量的鏡面。精密齒條
機(jī)械化學(xué)研磨
機(jī)械化學(xué)研磨，其加工機(jī)理是利用化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行機(jī)械研磨，有濕式和干式兩種。
用于硅片最終精加工的研磨方法是典型的濕式條件下的機(jī)械化學(xué)研磨，研磨劑用含有0.01 μm大小的SiO2磨粒的弱堿性膠狀水溶液，而與它相配合的研具是表層由微細(xì)結(jié)構(gòu)的軟質(zhì)發(fā)泡聚氨基甲酸涂敷的人造革。
干式條件下的機(jī)械化學(xué)研磨，是利用工件與磨粒之間產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)的研磨方法。典型的有用輕質(zhì)SiO2磨粒的玻璃板研磨藍(lán)寶石。
化學(xué)機(jī)械拋光
化學(xué)機(jī)械拋光是一種利用研磨液的腐蝕作用和磨粒的機(jī)械作用雙重作用的研磨方法。
強(qiáng)調(diào)的是化學(xué)作用，其首先靠活性拋光劑的化學(xué)活性作用，在被加工表面上生成一種化學(xué)反應(yīng)物，然后由磨粒的機(jī)械摩擦作用去除表面，它可以得到無(wú)機(jī)械損傷的加工表面，而且提高了效率。
